羅茨真空泵，又被稱為機械增壓泵，是一種容積式真空泵。它的工作原理與我們熟悉的羅茨鼓風機非常相似，但其設計和應用是針對真空環境的。羅茨真空泵的應用十分廣泛，當然也有其局限性，以下是其優缺點的簡單描述：

優點：

*   在中等真空范圍內（1 Pa ~ 1000 Pa），抽速極大，效率高。

*   轉子無接觸，磨損小，壽命長。

*   泵腔內無油，可獲得潔凈真空。

*   結構緊湊，啟動快。

缺點：

*   不能單獨使用，必須配備前級泵。

*   對粉塵、顆粒物敏感，易卡死。

*   在接近極限真空時，壓縮比較低。

總結與應用場景：

總結來說：羅茨真空泵是一個 “效率放大器" 。它犧牲了獨立工作的能力，換取了在特定壓力范圍內高抽速、低能耗和清潔無油的巨大優勢。

主要應用場景：

*   真空冶金：爐體抽氣。

*   半導體與光伏：*鍍膜、刻蝕、CVD（化學氣相沉積）。

*   化工制藥：真空干燥、蒸餾、濃縮。

*   科研實驗： 加速器、同步輻射。

*   食品包裝：真空包裝。

在選擇時，必須根據工作壓強范圍、所需抽速、對油污染的容忍度以及預算，來權衡其優缺點，并為其正確配置合適的前級泵和冷卻系統。